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发起单位：
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平潭
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项目地区：
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平潭综合实验区 平潭 县域详情 >
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所属产业：
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项目性质：
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鼓励
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合作方式：
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合作
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项目总投资：
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50,000 万元 人民币
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拟吸引投
资总金额： |
100,000 万元 人民币
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内容和规模：
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拟投资5亿元建设年产100台套28nm制程半导体设备基地，占地80亩，新建105,000平方米恒温精密制造车间，量产高精度CMP设备、刻蚀机及离子注入系统，实现抛光精度±0.5nm等关键技术突破，为国内晶圆厂提供国产替代解决方案。
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项目联系方式：
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